基盤技術 の GaAsに関する解説。

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GaAs

読み方、または別称:がりうむひそ

GaAsとは、ガリウム(Ga)と砒素(As)を材料とする、半導体素材を作る半導体膜の新しい製造法のことである。
ガリウムと砒素のような化合物半導体は、光発電や光エレクトロニクスを応用することによってシリコンを大幅に上回る性能を得ることが可能だが、ガリウムと砒素はシリコンに比べて高価であり、純度の高いものを得ることも難しく、脆いため加工も難しいといった問題があり、使用するには加工費用が大きく、採算に合うものを作ることが難しかった。
その問題を解決したのが、1回の蒸着工程でGaAs膜とAlGaAs膜を成長させて厚い多層集合体を作製した後、個々の層をはがして別の基板に転写するという新しい製造方法で、GaAsを利用したものはシリコンを半導体として用いたものに比べて高速で動作し、消費電力も約3分の1と少なく、小型化も容易という特徴をもつ半導体を実現している。
近年では、微細加工技術の進歩によりGaAsデバイスが安価で提供されており、携帯電話など小型で高周波特性が要求される用途を中心に広く普及している。

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